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发明名称 GAS INTRODUCING DEVICE
摘要
申请公布号 JPS54162295(A) 申请公布日期 1979.12.22
申请号 JP19780070376 申请日期 1978.06.13
申请人 ULVAC CORP 发明人 KIKUCHI MASASHI;FUDA TAKENOBU;SAWADA TOMOHISA
分类号 H01L21/302;B01J3/02;B01J4/00;C23F4/00;H01L21/3065 主分类号 H01L21/302
代理机构 代理人
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