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<P>Procédé et dispositif de dépôt de pellicules d'aluminium à partir de composés d'aluminium volatils. </P><P>Le procédé selon l'invention permet le dépôt par pyrolyse d'aluminium à partir de triisobutyle d'aluminium. Il comprend les étapes suivantes : le passage d'un courant d'argon ou d'azote secs, exempts d'oxygène, dans une certaine quantité de triisobutylaluminium liquide maintenu à une température inférieure à 90 degrés C de façon à entraîner une certaine partie des vapeurs de triisobutylaluminium, l'introduction d'argon et du triisobutylaluminium entraîné dans une chambre de réaction contenant les pièces à revêtir, l'introduction sélective par pulsations d'argon ou d'azote secs, exempts d'oxygène, dans la chambre de réaction de façon à assurer une répartition de triisobutylaluminium sensiblement uniforme à l'intérieur du récipient, et le maintien des pièces à une température comprise entre 250 et 270 degrés C, ce qui provoque le dépôt par pyrolyse d'aluminium sur lesdites pièces. </P><P>Application au revêtement avec des pellicules d'aluminium des électrodes de condensateur ou des trajets conducteurs de dispositifs à semi-conducteurs.</P>
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