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发明名称
摘要
申请公布号 JPS5444540(Y2) 申请公布日期 1979.12.21
申请号 JP19750042524U 申请日期 1975.03.28
申请人 发明人
分类号 C23C16/46;H01L21/18;H01L21/22;H01L21/223;H01L21/31;H01L21/38;H01L21/473;(IPC1-7):H01L21/22 主分类号 C23C16/46
代理机构 代理人
主权项
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