| 发明名称 |
IMPURITY REMOVING DEVICE FOR SEMICONDUCTOR MATERIAL |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
JPS54161590(A) |
申请公布日期 |
1979.12.21 |
| 申请号 |
JP19780070503 |
申请日期 |
1978.06.12 |
| 申请人 |
TOKYO SHIBAURA ELECTRIC CO |
发明人 |
INOUE SHIYOUICHI;TERAJIMA KAZUTAKA |
| 分类号 |
C30B11/00;C30B13/00;C30B29/40;H01L21/02;H01L21/208 |
主分类号 |
C30B11/00 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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