| 发明名称 |
HEATER UNIT AND SUBSTRATE TREATING DEVICE |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
JPH10326788(A) |
申请公布日期 |
1998.12.08 |
| 申请号 |
JP19970134831 |
申请日期 |
1997.05.26 |
| 申请人 |
KOKUSAI ELECTRIC CO LTD |
发明人 |
IKEDA FUMIHIDE;TAKADERA HIROYUKI |
| 分类号 |
H01L21/205;G05D23/00;H01L21/324;(IPC1-7):H01L21/324 |
主分类号 |
H01L21/205 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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