| 发明名称 |
PRODUCTION OF CROSS LINKING TYPE RESIST |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
JPS54161320(A) |
申请公布日期 |
1979.12.20 |
| 申请号 |
JP19780069876 |
申请日期 |
1978.06.12 |
| 申请人 |
FUJITSU LTD |
发明人 |
YONEDA YASUHIRO;KITAMURA TATEO;KITAKOUJI TOSHISUKE |
| 分类号 |
G03F7/004;C08L33/00;C08L33/02;C08L33/04;C08L33/08;G03C1/72;G03F7/039;H01L21/027;H01L21/302 |
主分类号 |
G03F7/004 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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