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发明名称
SMALL PIECE WASHING METHOD
摘要
申请公布号
JPS54159872(A)
申请公布日期
1979.12.18
申请号
JP19780069411
申请日期
1978.06.08
申请人
MITSUBISHI ELECTRIC CORP
发明人
TSUJI TETSUROU;SADAMORI MASAAKI
分类号
H01L21/304;H01L21/302
主分类号
H01L21/304
代理机构
代理人
主权项
地址
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