发明名称 PRODUCTION OF SEMICONDUCTOR DEVICE
摘要
申请公布号 JPS54159868(A) 申请公布日期 1979.12.18
申请号 JP19780069154 申请日期 1978.06.07
申请人 NIPPON ELECTRIC CO 发明人 IKEDA KAZUKO
分类号 H01L21/316;H01L21/56 主分类号 H01L21/316
代理机构 代理人
主权项
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