| 发明名称 |
WERKWIJZE VOOR HET BEHANDELEN VAN EEN SUBSTRAAT VAN GALLIUMARSENIDE. |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
NL162313(B) |
申请公布日期 |
1979.12.17 |
| 申请号 |
NL19730003954 |
申请日期 |
1973.03.21 |
| 申请人 |
WESTERN ELECTRIC COMPANY, INCORPORATED, NEW YORK. |
发明人 |
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| 分类号 |
H01L21/308;H01L21/205;H01L21/302;H01L21/306;H01L29/00;H01L29/47;H01L29/872;(IPC1-7):B01J17/32 |
主分类号 |
H01L21/308 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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