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发明名称 METHOD OF FORMING DOPING AREA AUTOMATICALLY POSITIONED
摘要
申请公布号 JPS54159168(A) 申请公布日期 1979.12.15
申请号 JP19790045539 申请日期 1979.04.16
申请人 IBM 发明人 BINSENTO RII RAIDOAUTO
分类号 H01L29/78;H01L21/027;H01L21/265;H01L21/266;H01L21/8234;H01L27/06;H01L29/06 主分类号 H01L29/78
代理机构 代理人
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