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发明名称 VAPOR GROWTH METHOD FOR COMPOUND SEMICONDUCTOR CRYSTAL
摘要
申请公布号 JPS54158166(A) 申请公布日期 1979.12.13
申请号 JP19780067128 申请日期 1978.06.02
申请人 NIPPON ELECTRIC CO 发明人 KANEKO YUKIO
分类号 C30B25/14;H01L21/205;H01L21/22;H01L21/223 主分类号 C30B25/14
代理机构 代理人
主权项
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