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发明名称 MANUFACTURE OF SEMICONDUCTOR DEVICE
摘要
申请公布号 JPS54158172(A) 申请公布日期 1979.12.13
申请号 JP19780067130 申请日期 1978.06.02
申请人 NIPPON ELECTRIC CO 发明人 AIMI TOSHIHIKO
分类号 H01L21/316;H01L21/56 主分类号 H01L21/316
代理机构 代理人
主权项
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