| 发明名称 |
MANUFACTURE OF SEMICONDUCTOR DEVICE |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
JPS54158184(A) |
申请公布日期 |
1979.12.13 |
| 申请号 |
JP19780067126 |
申请日期 |
1978.06.02 |
| 申请人 |
NIPPON ELECTRIC CO |
发明人 |
OOTA MICHIHIRO;TAKAHASHI TAKESHI |
| 分类号 |
H01L27/092;H01L21/265;H01L21/76;H01L21/762;H01L21/8238;H01L29/78 |
主分类号 |
H01L27/092 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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