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发明名称 SUSCEPTOR
摘要
申请公布号 JPS54157778(A) 申请公布日期 1979.12.12
申请号 JP19780066324 申请日期 1978.06.02
申请人 TOSHIBA CERAMICS CO 发明人 KAGAMI TOSHIROU;MATSUO HIDEYASU;KARITA AKIO
分类号 C30B23/00;C30B19/06;C30B25/12;H01B19/00;H01L21/02;H01L21/205 主分类号 C30B23/00
代理机构 代理人
主权项
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