发明名称 Method of fabricating a field effect device with polycrystaline silicon channel
摘要
申请公布号 EP0460833(B1) 申请公布日期 2000.08.30
申请号 EP19910304676 申请日期 1991.05.23
申请人 STMICROELECTRONICS, INC. 发明人 CHAN, TSIU C.;HAN, YU-PIN;GURITZ, ELMER H.
分类号 H01L21/8238;H01L21/02;H01L21/8244;H01L27/06;H01L27/092;H01L27/11;(IPC1-7):H01L27/11 主分类号 H01L21/8238
代理机构 代理人
主权项
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