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发明名称 PROCEDIMENTO PER LA FABBRICAZIONE DI MICROSTRUTTURE COSTITUITE DA MATERIALI APPLICABILE MEDIANTE VAPORIZZAZIONE SU UNO STRATO FONDAMENTALE
摘要
申请公布号 IT1039443(B) 申请公布日期 1979.12.10
申请号 IT19750024866 申请日期 1975.06.27
申请人 SIEMENS AG 发明人
分类号 H05K3/14;C23F1/00;H01L21/00;H01L21/027;H01L21/306;(IPC1-7):23C/ 主分类号 H05K3/14
代理机构 代理人
主权项
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