发明名称 APPRECIATING METHOD FOR CRYSTAL OF SEMICONDUCTOR WAFER
摘要
申请公布号 JPS54155761(A) 申请公布日期 1979.12.08
申请号 JP19780064796 申请日期 1978.05.30
申请人 FUJITSU LTD 发明人 OOSAWA AKIRA
分类号 G01N23/20;H01L21/66 主分类号 G01N23/20
代理机构 代理人
主权项
地址