| 发明名称 |
SINGLE CRYSTAL MANUFACTURING APPARATUS BY FLOATING ZONE METHOD |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
JPS54155182(A) |
申请公布日期 |
1979.12.06 |
| 申请号 |
JP19780064017 |
申请日期 |
1978.05.29 |
| 申请人 |
KOKUSAI ELECTRIC CO LTD |
发明人 |
OGI HITOSHI;MURAI TAKESHI |
| 分类号 |
C30B13/32;H01L21/02;H01L21/208 |
主分类号 |
C30B13/32 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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