发明名称 |
MANUFACTURE OF SEMICONDUCTOR DEVICE |
摘要 |
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申请公布号 |
JPS54154271(A) |
申请公布日期 |
1979.12.05 |
申请号 |
JP19780063170 |
申请日期 |
1978.05.25 |
申请人 |
NIPPON ELECTRIC CO |
发明人 |
IKUSHIMA YASUTAKA;KUBOTA TAKEHIKO;TASHIRO TSUTOMU |
分类号 |
H01L29/73;H01L21/28;H01L21/331;H01L29/04;H01L29/72 |
主分类号 |
H01L29/73 |
代理机构 |
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代理人 |
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主权项 |
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地址 |
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