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发明名称
METHOD OF REVEALING THE SRUCTURE OF THIN-FILM METAL LAYERS
摘要
申请公布号
SU702296(A1)
申请公布日期
1979.12.05
申请号
SU19772523014
申请日期
1977.08.22
申请人
MINEEV ALEKSEJ S,SU;KARYMOV IGOR P,SU;KOCHUKOV VALERIJ ,SU;ASTASHEVA SVETLANA S,SU
发明人
MINEEV ALEKSEJ S,SU;KARYMOV IGOR P,SU;KOCHUKOV VALERIJ ,SU;ASTASHEVA SVETLANA S,SU
分类号
G01N31/00;C01B33/12;(IPC1-7):G01N31/00
主分类号
G01N31/00
代理机构
代理人
主权项
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