发明名称 METHOD OF REVEALING THE SRUCTURE OF THIN-FILM METAL LAYERS
摘要
申请公布号 SU702296(A1) 申请公布日期 1979.12.05
申请号 SU19772523014 申请日期 1977.08.22
申请人 MINEEV ALEKSEJ S,SU;KARYMOV IGOR P,SU;KOCHUKOV VALERIJ ,SU;ASTASHEVA SVETLANA S,SU 发明人 MINEEV ALEKSEJ S,SU;KARYMOV IGOR P,SU;KOCHUKOV VALERIJ ,SU;ASTASHEVA SVETLANA S,SU
分类号 G01N31/00;C01B33/12;(IPC1-7):G01N31/00 主分类号 G01N31/00
代理机构 代理人
主权项
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