发明名称 REGENERATIVE APPARATUS FOR CRYOPUMP
摘要
申请公布号 JPS54153314(A) 申请公布日期 1979.12.03
申请号 JP19780060942 申请日期 1978.05.24
申请人 ULVAC CORP 发明人 HAYASHI CHIKARA
分类号 F04B37/08;F04B37/06 主分类号 F04B37/08
代理机构 代理人
主权项
地址