| 发明名称 |
MANUFACTURE OF SEMICONDUCTOR INTEGRATEDDCIRCUIT DEVICE |
| 摘要 |
|
| 申请公布号 |
JPS54152966(A) |
申请公布日期 |
1979.12.01 |
| 申请号 |
JP19780061068 |
申请日期 |
1978.05.24 |
| 申请人 |
HITACHI LTD |
发明人 |
INAYOSHI HIDEO;WAKASHIMA YOSHIAKI;NISHI KUNIHIKO |
| 分类号 |
H01L21/66;H01L23/48;H01L23/50 |
主分类号 |
H01L21/66 |
| 代理机构 |
|
代理人 |
|
| 主权项 |
|
| 地址 |
|
