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发明名称 SEMICONDUCTOR PROCESSING BOAT
摘要
申请公布号 JPS54152863(A) 申请公布日期 1979.12.01
申请号 JP19780060664 申请日期 1978.05.23
申请人 TOKYO SHIBAURA ELECTRIC CO 发明人 TANOMOTO MITSUO
分类号 H01L21/673;H01L21/02;H01L21/22 主分类号 H01L21/673
代理机构 代理人
主权项
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