| 发明名称 |
Lamphead for a rapid thermal processing chamber |
| 摘要 |
A lamphead includes a monolithic member. A plurality of lamp receptacles and reflector cavities are formed in the monolithic member.
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| 申请公布号 |
US6805466(B1) |
申请公布日期 |
2004.10.19 |
| 申请号 |
US20000595765 |
申请日期 |
2000.06.16 |
| 申请人 |
APPLIED MATERIALS, INC. |
发明人 |
RANISH JOSEPH M. |
| 分类号 |
H01L21/00;(IPC1-7):F21V7/00 |
主分类号 |
H01L21/00 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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