晶圆偏心矫正卡匣

摘要

一种晶圆偏心矫正卡匣，系用于晶圆输送之设备中，以提供晶圆置放的中心位置偏移之矫正的功能，该晶圆偏心矫正卡匣包括一盖板、复数个第一晶圆矫正板、复数个第二晶圆矫正板、复数个间隔环、一底杆与一底板以及第一卡匣底座与第二卡匣底座。该晶圆偏心矫正卡匣，系将真空吸附装置吸放晶圆过程中，所产生之晶圆置放的中心位置偏移予以矫正，一方面可提供机械手臂间转接之功能，使真空吸附装置与晶圆底部之接触式之大气机械手臂作双向之传输，另一方面可使卡匣承载室(Load Lock Chamber)具有储放大量处理前及处理后之晶圆的功能，俾机械手臂于适当之时机再行存取晶圆。

主权项

1.一种晶圆偏心矫正卡匣,包括一盖板、复数个第一晶圆矫正板、复数个第二晶圆矫正板、复数个间隔环、一底板与一底杆;该盖板系设于所述晶圆偏心矫正卡匣之顶部;该底板系设于所述晶圆偏心矫正卡匣之底部;该第一晶圆矫正板与第二晶圆矫正板系设于所述盖板与底板之间;该间隔环系分别设于所述第一晶圆矫正板、第二晶圆矫正板与底板、盖板之间以及复数个第一晶圆矫正板之间与复数个第二晶圆矫正板之间;该底杆系设于所述底板之下。2.依据申请专利范围第1项所述之晶圆偏心矫正卡匣,其中,所述底板下缘设有复数个第一卡匣底座与复数个第二卡匣底座。3.依据申请专利范围第2项所述之晶圆偏心矫正卡匣,其中,所述第一卡匣底座之间设有所述底杆。4.依据申请专利范围第1项所述之晶圆偏心矫正卡匣,其中,所述第一晶圆矫正板及第二晶圆矫正板之间形成一贯通缺口。5.依据申请专利范围第1项所述之晶圆偏心矫正卡匣,其中,所述第一晶圆矫正板及第二晶圆矫正板分别设有圆弧槽。6.依据申请专利范围第5项所述之晶圆偏心矫正卡匣,其中,所述第一晶圆矫正板及第二晶圆矫正板之圆弧槽上分别设有倒角。图式简单说明:第一图为习知晶圆卡匣之化学气相沈积制程的晶圆输送设备示意图。第二图为习知化学气相沈积制程设备示意图。第三图为习知化学气相沈积制程设备中,置放晶圆产生侧向飘移之示意图。第四图为装设本发明晶圆偏心矫正卡匣之化学气相沈积制程设备示意图。第五图为晶圆偏心矫正卡匣之立体图。第六图为晶圆偏心矫正卡匣之立体倒置视图。第七图为晶圆偏心矫正卡匣之组件分解图。第八图为第一晶圆矫正板及第二晶圆矫正板组成之晶圆置放槽示意图。第九图为光学侦测示意图。