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发明名称
摘要
申请公布号 JPS5439710(B2) 申请公布日期 1979.11.29
申请号 JP19770102392 申请日期 1977.08.26
申请人 发明人
分类号 H01L21/027;H01L21/302;H01L21/68 主分类号 H01L21/027
代理机构 代理人
主权项
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