| 发明名称 |
METHOD OF DRY ETCHING, DRY ETCHING GAS AND PROCESS FOR PRODUCING PERFLUORO-2-PENTYNE |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
EP1542268(A4) |
申请公布日期 |
2007.01.31 |
| 申请号 |
EP20030764209 |
申请日期 |
2003.07.16 |
| 申请人 |
ZEON CORPORATION |
发明人 |
YAMADA, TOSHIRO;SUGIMOTO, TATSUYA |
| 分类号 |
C07C17/25;C03C25/68;C07C17/26;C07C21/18;C07C21/22;H01L21/3065;H01L21/311;H01L21/3213;(IPC1-7):H01L21/311;H01L21/321 |
主分类号 |
C07C17/25 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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