| 发明名称 |
FORMING METHOD FOR SEMICONDUCTOR THIN FILM |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
JPS54150972(A) |
申请公布日期 |
1979.11.27 |
| 申请号 |
JP19780058953 |
申请日期 |
1978.05.19 |
| 申请人 |
HITACHI LTD |
发明人 |
SHIGETA JIYUNJI;KODERA NOBUO |
| 分类号 |
C30B13/06;C30B29/40;H01L21/20;H01L21/203;H01L21/324;H01L43/00;H01L43/14 |
主分类号 |
C30B13/06 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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