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发明名称 MANUFACTURE OF SEMICONDUCTOR DEVICE
摘要
申请公布号 JPS54150074(A) 申请公布日期 1979.11.24
申请号 JP19780059177 申请日期 1978.05.18
申请人 SONY CORP 发明人 FUTAGAMI MOTONOBU;TSUJIMOTO KEIKO
分类号 H01L21/322;H01L21/324;H01L31/02;H01L31/10 主分类号 H01L21/322
代理机构 代理人
主权项
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