发明名称 SCHIEBERVENTIL FÜR HALBLEITERBEHANDLUNGSVORRICHTUNG
摘要
申请公布号 DE60030559(T2) 申请公布日期 2007.08.30
申请号 DE20006030559T 申请日期 2000.05.30
申请人 TOKYO ELECTRON LTD. 发明人 OKA, HIROKI
分类号 F16K3/18;F16K51/02 主分类号 F16K3/18
代理机构 代理人
主权项
地址