发明名称
摘要
申请公布号 JPS54166267(U) 申请公布日期 1979.11.22
申请号 JP19780062726U 申请日期 1978.05.12
申请人 发明人
分类号 F25D9/00;C23F17/00;H01L23/44;(IPC1-7):H01L23/44 主分类号 F25D9/00
代理机构 代理人
主权项
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