发明名称 ETCHING APPARATUS
摘要
申请公布号 JPS54149341(A) 申请公布日期 1979.11.22
申请号 JP19780057803 申请日期 1978.05.15
申请人 NIPPON ELECTRIC CO 发明人 KOSHIMIZU HIROSHI
分类号 C23F1/08 主分类号 C23F1/08
代理机构 代理人
主权项
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