发明名称 VERFAHREN ZUR HERSTELLUNG EINER MOS- HALBLEITERANORDNUNG
摘要
申请公布号 DE2920255(A1) 申请公布日期 1979.11.22
申请号 DE19792920255 申请日期 1979.05.18
申请人 MARUMAN INTEGRATED CIRCUITS 发明人 W. ZIMMER,JERRY
分类号 H01L29/78;H01L21/28;H01L21/316;H01L21/336;H01L29/417;H01L29/51;(IPC1-7):H01L21/28;H01L21/76;H01L27/04 主分类号 H01L29/78
代理机构 代理人
主权项
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