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发明名称 INDIVIDUAL SUPPLIER FOR PELLET
摘要
申请公布号 JPS54149587(A) 申请公布日期 1979.11.22
申请号 JP19780057624 申请日期 1978.05.17
申请人 HITACHI LTD 发明人 IKEDA YASUHIKO
分类号 H01L21/67;H01L21/02;H01L21/68 主分类号 H01L21/67
代理机构 代理人
主权项
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