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发明名称 WASHING UNIT FOR SEMICONDUCTOR WAFER
摘要
申请公布号 JPS54149584(A) 申请公布日期 1979.11.22
申请号 JP19780059123 申请日期 1978.05.17
申请人 MITSUBISHI ELECTRIC CORP 发明人 HONDA FUMIHIRO;SADAMORI MASAAKI
分类号 H01L21/304;H01L21/302 主分类号 H01L21/304
代理机构 代理人
主权项
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