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发明名称 PATTERING METHOD FOR WAFER
摘要
申请公布号 JPS54149583(A) 申请公布日期 1979.11.22
申请号 JP19780057623 申请日期 1978.05.17
申请人 HITACHI LTD 发明人 TANAKA YOSHIMITSU;NONAKA TOSHIO;TSUBOYA TOSHIO;TAKASUGI MITSUO;SAITOU TADAO;NAKAGAWA MASAAKI;TAIRA KATSUMI
分类号 H01L21/301;H01L21/302 主分类号 H01L21/301
代理机构 代理人
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