| 发明名称 |
MANUFACTURE OF INTEGRATED CIRCUIT |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
JPS54148490(A) |
申请公布日期 |
1979.11.20 |
| 申请号 |
JP19780056691 |
申请日期 |
1978.05.15 |
| 申请人 |
HITACHI LTD |
发明人 |
TAKEUCHI SADAO;IKEMOTO YASUHIRO;SUGIYAMA TOSHIKI;TAKAGI RIYUUICHI |
| 分类号 |
H01L21/822;G06F17/50;H01L21/302;H01L21/82;H01L27/04;H01L27/118 |
主分类号 |
H01L21/822 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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