发明名称 SEMICONDUCTOR DEVICE AND METHOD OF FABRICATING SAME
摘要
申请公布号 JPS54147779(A) 申请公布日期 1979.11.19
申请号 JP19780055464 申请日期 1978.05.12
申请人 CHO LSI GIJUTSU KENKYU KUMIAI 发明人 FUJIKI KUNIMITSU
分类号 H01L29/41;H01L21/28;H01L29/78 主分类号 H01L29/41
代理机构 代理人
主权项
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