发明名称 PROCEDE DE FABRICATION D'UN DISPOSITIF PAR ATTAQUE PAR PLASMA DE SURFACES RICHES EN ALUMINIUM
摘要
申请公布号 BE877895(A1) 申请公布日期 1979.11.16
申请号 BE19790196455 申请日期 1979.07.25
申请人 WESTERN ELECTRIC CY INC. 发明人 WANG D;LEVINSTEIN H
分类号 H01L21/302;C23F4/00;H01L21/02;H01L21/3065;H01L21/3213;(IPC1-7):C23F/;H01L/;H05H/ 主分类号 H01L21/302
代理机构 代理人
主权项
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