发明名称 MEASURING UNIT OF SEMICONDUCTOR ELEMENT
摘要
申请公布号 JPS54146956(A) 申请公布日期 1979.11.16
申请号 JP19780054432 申请日期 1978.05.10
申请人 TOKYO SHIBAURA ELECTRIC CO 发明人 SATOU AKITOSHI
分类号 G01R31/26;H01L21/66 主分类号 G01R31/26
代理机构 代理人
主权项
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