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发明名称
MEASURING UNIT OF SEMICONDUCTOR ELEMENT
摘要
申请公布号
JPS54146956(A)
申请公布日期
1979.11.16
申请号
JP19780054432
申请日期
1978.05.10
申请人
TOKYO SHIBAURA ELECTRIC CO
发明人
SATOU AKITOSHI
分类号
G01R31/26;H01L21/66
主分类号
G01R31/26
代理机构
代理人
主权项
地址
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