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发明名称 THIN FILM FORMING DEVICE
摘要
申请公布号 JPH01319676(A) 申请公布日期 1989.12.25
申请号 JP19880152944 申请日期 1988.06.21
申请人 RAIMUZU:KK 发明人 MURATA HIDEAKI;SANO KENICHI;YONEMOTO TAKAHARU;TOKUSHIGE HIROYUKI;MORI TAIICHI;MIYAGAWA TSUGIO
分类号 C23C14/52;C23C14/24;C23C14/54;G01N23/223;H01L21/203 主分类号 C23C14/52
代理机构 代理人
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