发明名称 METHOD OF MEASURING THE THICKNESS OF SEMICONTOR MATERIAL LAYERS
摘要
申请公布号 SU697801(A1) 申请公布日期 1979.11.15
申请号 SU19782573981 申请日期 1978.01.02
申请人 KUSTOV VASILIJ G,SU 发明人 KUSTOV VASILIJ G,SU
分类号 G01B7/06;(IPC1-7):G01B7/06 主分类号 G01B7/06
代理机构 代理人
主权项
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