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发明名称 KUPPELVENTIL FUER DIE VAKUUMDICHTE VERBINDUNG EINER STATIONAEREN UND EINER BEWEGLICHEN EVAKUIERBAREN KAMMER
摘要
申请公布号 DE2820345(A1) 申请公布日期 1979.11.15
申请号 DE19782820345 申请日期 1978.05.10
申请人 LEYBOLD-HERAEUS GMBH 发明人 AICHERT,HANS,DR.-ING.;STARK,FRIEDRICH;STEPHAN,HERBERT,DR.-PHYS.;HOFFMANN,OTTO-HORST,DR.-ING.
分类号 C23C14/56;(IPC1-7):F27B11/06;C23C13/08 主分类号 C23C14/56
代理机构 代理人
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