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发明名称 HIGH PRECISION MASK PHOTOREPEATER
摘要
申请公布号 GB1556028(A) 申请公布日期 1979.11.14
申请号 GB19760045178 申请日期 1976.10.29
申请人 THOMSON CSF 发明人
分类号 H01L21/30;G03F1/00;G03F1/08;G03F7/20;G03F7/207;G03F9/02;H01L21/027;(IPC1-7):G05B19/02;G05D3/04 主分类号 H01L21/30
代理机构 代理人
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