发明名称 SEMICONDUCTOR DEVICE
摘要
申请公布号 JPS54145488(A) 申请公布日期 1979.11.13
申请号 JP19790022549 申请日期 1979.03.01
申请人 TOKYO SHIBAURA ELECTRIC CO 发明人 YASUDA YUKIO;YAMANAKA MINORU;KIRITA KEI
分类号 H01L21/3205;H01L21/28;H01L21/768;H01L23/52 主分类号 H01L21/3205
代理机构 代理人
主权项
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