发明名称 SEMICONDUCTOR DEVICE
摘要
申请公布号 JPS54145481(A) 申请公布日期 1979.11.13
申请号 JP19780053757 申请日期 1978.05.08
申请人 TOKYO SHIBAURA ELECTRIC CO 发明人 KOMATSU SHIGERU;INOUE HIROSHI
分类号 H01L21/66;H01L21/331;H01L29/72;H01L29/73 主分类号 H01L21/66
代理机构 代理人
主权项
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