发明名称 MEASURING METHOD FOR THICKNESS OF THIN FILMS ON SOLID PLATE
摘要
申请公布号 JPS54145163(A) 申请公布日期 1979.11.13
申请号 JP19780052481 申请日期 1978.05.01
申请人 KOGYO GIJUTSUIN 发明人 IRIYAMA KEIJI
分类号 G01B11/06 主分类号 G01B11/06
代理机构 代理人
主权项
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