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发明名称
摘要
申请公布号	JPS54161157(U)	申请公布日期	1979.11.10
申请号	JP19780058915U	申请日期	1978.04.28
申请人		发明人
分类号	G01J1/02;G01B11/00;G01J1/00;H01L31/00;H01L31/16;(IPC1-7):G01D21/04	主分类号	G01J1/02
代理机构		代理人
主权项
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