发明名称 MANUFACTURE OF SEMICONDUCTOR DEVICE
摘要
申请公布号 JPS54144186(A) 申请公布日期 1979.11.10
申请号 JP19780053042 申请日期 1978.05.02
申请人 TOKYO SHIBAURA ELECTRIC CO 发明人 TAKASE TAKEOMI
分类号 H01L29/74 主分类号 H01L29/74
代理机构 代理人
主权项
地址