流体混合装置

摘要

一种流体混合装置，其中，即使混合线的背压阀的下游侧的压力变动，各供给线的流体也能够总是定量地向该混合线供给，维持精度高的混合比率，进而在使流体流动的状态下高精度改变供给线的流体的混合比率。至少两个第一供给线(1)、第二供给线(2)与混合线(3)合流的合流接点(4)的上游侧上，调整流体的流量的节流部(5、6)和节流部(5、6)上游侧的减压阀(7、8)直列配置在供给线(1、2)中，并且在混合线(3)上配置背压阀(9)。另外，混合线(3)上直列配置背压阀(9)和流量计(10)，节流部(5、6)使用固定孔、或调节阀，进而减压阀(7、8)以及背压阀采用自动阀。

主权项

1. 一种流体混合装置，其将至少两个供给线内流动的流体以任意比率压送到混合线上，其特征在于，所述至少两个供给线与混合线合流的接点的上游侧上直列配置调节流体的流量的节流部和该节流部的再上游侧的减压阀，并且在所述混合线上配置背压阀，所述减压阀具有：本体，其具有第一阀室和与设置在第一阀室上部的台阶部及第一阀室连通的流体流入口；盖体，其具有第二阀室和与第二阀室连通的流体流出口，并且与所述本体的上部接合；第一隔膜，其周缘部与所述第一阀室的上部周缘部接合；第二隔膜，其周缘部由所述本体和盖体夹持，受压面积比第一隔膜的受压面积大；套筒，其与设置在所述第一隔膜和所述第二隔膜中央的环状接合部接合，并且在轴向能自由移动；插栓，其固定在第一阀室底部且与该套筒的下端之间形成流体控制部；该减压阀还具有被本体的台阶部的内周面和第一隔膜及第二隔膜包围的气室，在所述本体设有与该气室连通的空气供给口。